COOLVAC-Vakuumpumpen sind Kryopumpen, die ein Vakuum erzeugen, wenn gasförmige Stoffe durch Kryokondensation an den kalten Oberflächen innerhalb der Pumpe gebunden werden. Sie werden für die Erzeugung von Ultrahochvakuum eingesetzt.

COOLVAC Kryopumpen haben aufgrund des Saugprinzips ein hocheffektives Saugvermögen für alle Gase. COOLVAC-Vakuumpumpen erzeugen ein kohlenwasserstofffreies Ultrahochvakuum im Druckbereich von 10^-3 mbar bis 10^-11 mbar.
Alle Kryopumpen der COOLVAC-Baureihe sind mit allen sicherheitsrelevanten Komponenten ausgestattet, insbesondere mit einem Sicherheitsventil, das mit einem zusätzlichen DN 40 KF-Flansch zum Anschluss einer Abluftleitung versehen ist.
Das Pumpengehäuse ist aus hochwertigem Edelstahl gefertigt. Für den Betrieb der COOLPOWER i-Kälteköpfe, die in den Kryopumpen der COOLVAC i-Reihe integriert sind, werden Heliumkompressoren der COOLPAK e-Reihe benötigt.

• iSmartLine (eSL): Die Kryopumpen der Reihe iSmartLine (eSL) werden mittels elektrischer Heizungen an beiden Kaltkopfstufen stufenweise auf Raumtemperatur aufgeheizt. Druck, Temperatur und Heizleistung werden durch den COOL.DRIVE I Regler überwacht.

• iBasicLine (eBL): Bei den Kryopumpen der iBasicLine (eBL)-Reihe erfolgt die Regeneration manuell in zwei Teilschritten: Ausschalten des Kühlsystems und Warten bis Raumtemperatur erreicht istNachkühlen, nachdem ein ausreichend niedriger Druck in der Kryopumpe erreicht ist.
Die COOLVAC-Kryopumpen der iBasicLine-Ausführung sind identisch mit den COOLVAC-Kryopumpen der eSL-Ausführung hinsichtlich der technischen Daten für Saugvermögen, Kapazität, Abkühlzeit, eingebaute Kälteköpfe, maximalen Durchsatz, eingebaute Temperatursensoren für die zweite Stufe (Si-Diode) und die entsprechenden Stromdurchführungen.
Bei den iBasicLine-Modellen sind der COOL.DRIVE i-Controller sowie Heizungen, Manometer und Vorvakuumventil nicht enthalten.