COOLVAC 10000 eSL - DN 500 ISO-F

Cryo Technologie

Kryogene Systeme werden in der Vakuumindustrie aufgrund ihrer Fähigkeit, extrem niedrige Temperaturen zu erreichen und Hochvakuumbedingungen zu schaffen, weit verbreitet eingesetzt. Diese Systeme bestehen aus einer Kompressoreinheit und einem kryogenen Kühler, die zusammenarbeiten, um eine kalte Umgebung zu erzeugen. Kryogene Pumpen werden ebenfalls für Vakuumoperationen verwendet und bieten hohe Saugvermögen und niedrige Enddrücke. Kryogene Technologie ist in Branchen wie der Halbleiterherstellung, der wissenschaftlichen Forschung und der Weltraumforschung beliebt.

LEYBOLD KRYOGENE SYSTEME - Intelligent. Smart. Wirtschaftlich.

Im Hinblick auf die steigenden Anforderungen des Marktes erfüllt Leybold die Erwartungen der Kunden mit seiner neuen Reihe von kryogenen Systemen, die leistungsstarke Komponenten kombinieren. Die kryogenen Systeme bieten eine große Auswahl an wirtschaftlichen Produkten, die leicht kombiniert werden können, um die Anforderungen Ihrer Anwendung zu erfüllen.

Die Leybold Kühlsysteme bestehen aus: COOLPAK e: Kompressoreinheit & COOLPOWER e: Kryogener Kühler

Die kryogenen Pumpsysteme bestehen aus: COOLPAK e: Kompressoreinheit & COOLVAC e: Kryogene Pumpe

COOLVAC

COOLVAC-Vakuumpumpen sind Kryopumpen, die ein Vakuum erzeugen, wenn gasförmige Stoffe durch Kryokondensation an den kalten Oberflächen innerhalb der Pumpe gebunden werden. Sie werden für die Erzeugung von Ultrahochvakuum eingesetzt.

COOLVAC Kryopumpen haben aufgrund des Saugprinzips ein hohes effektives Saugvermögen für alle Gase. COOLVAC-Vakuumpumpen erzeugen ein kohlenwasserstofffreies Ultrahochvakuum im Druckbereich von 10-3 mbar bis 10-11 mbar.

Alle Kryopumpen der COOLVAC-Baureihe sind mit allen sicherheitsrelevanten Komponenten ausgestattet, insbesondere mit einem Sicherheitsventil, das mit einem zusätzlichen DN 40 KF-Flansch zum Anschluss einer Abluftleitung versehen ist.

Das Pumpengehäuse ist aus hochwertigem Edelstahl gefertigt. Für den Betrieb der COOLPOWER i-Kälteköpfe, die in die Kryopumpen der COOLVAC i-Reihe integriert sind, werden Heliumkompressoren der COOLPAK e-Reihe benötigt.

iSmartLine (eSL)

Die Kryopumpen der Reihe iSmartLine (eSL) werden mittels elektrischer Heizungen in beiden Kaltkopfstufen stufenweise auf Raumtemperatur aufgeheizt. Druck, Temperatur und Heizleistung werden durch den COOL.DRIVE I Regler überwacht.

iBasicLine (eBL)

Bei den Kryopumpen der Reihe iBasicLine (eBL) erfolgt die Regeneration manuell in zwei Teilschritten:

Ausschalten des Kühlsystems und Warten bis Raumtemperatur erreicht ist

Rückkühlung nach Erreichen eines ausreichend niedrigen Drucks in der Kryopumpe. Die COOLVAC-Kryopumpen der iBasicLine-Ausführung sind identisch mit den COOLVAC-Kryopumpen der eSL-Ausführung hinsichtlich der technischen Daten für Saugvermögen, Kapazität, Abkühlzeit, eingebaute Kälteköpfe, maximalen Durchsatz, eingebaute Temperatursensoren für die zweite Stufe (Si-Diode) und die entsprechenden Stromdurchführungen.

Bei den iBasicLine-Modellen sind der COOL.DRIVE i-Regler sowie Heizungen, Manometer und Vorvakuumventil nicht enthalten.