ISO-K / ISO-F Schieberventile

Die Schieberventile von Leybold mit ISO-K- und ISO-F-Anschlüssen sind für Absperraufgaben in Hoch- und Ultrahochvakuumsystemen (HV/UHV) ausgelegt, bei denen leckdichte Abdichtung und sauberer Betrieb erforderlich sind. Das Sortiment umfasst manuelle HV-Ventile, elektropneumatische UHV-Ventile und weitere Ausführungen für unterschiedliche Betätigungs- und Steuerungsanforderungen.
Dank ihres hohen Leitwerts und ihrer zuverlässigen Dichtungseigenschaften eignen sich diese Ventile für anspruchsvolle Anwendungen wie die Halbleiterfertigung, Forschungseinrichtungen und Vakuumbeschichtungsanlagen. Eine fachgerechte Integration trägt dazu bei, die Vakuumintegrität zu erhalten und gleichzeitig das Risiko von Kontaminationen in kritischen Prozessen zu minimieren.

Schieber ISO-K ISO-F

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