Die indirekten Vakuummessgeräte von Leybold bestimmen den Druck anhand von Gaseigenschaften wie Wärmeleitfähigkeit und Ionisation und eignen sich dadurch für Vakuummessungen über einen großen Druckbereich. Das Sortiment umfasst THERMOVAC TTR Pirani-Messgeräte, PENNINGVAC PTR Kaltkathodenmessgeräte, IONIVAC ITR Aktivmessgeräte, Passivmessgeräte und weitere Produkte und deckt Anwendungen vom Grobvakuum bis zum Hochvakuum ab.
Diese Lösungen eignen sich hervorragend für die kontinuierliche Überwachung, Pumpensteuerung und den Schutz von Vakuumsystemen über unterschiedliche Druckbereiche hinweg. Die Wahl des geeigneten Messprinzips gewährleistet eine lückenlose Druckerfassung und unterstützt eine stabile Systemregelung in Anwendungen wie Vakuumbeschichtung, Halbleiterfertigung und Analysesystemen.